生產(chǎn)廠家廣東皓天檢測儀器有限公司擁有專業(yè)的生產(chǎn)研發(fā)技術(shù)，一站式周到服務(wù)。作為一家專注于試驗設(shè)備產(chǎn)品的大型儀器制造商，皓天設(shè)備致力于為消費者提供技術(shù)、品質(zhì)的優(yōu)秀產(chǎn)品。

廣東快速溫變試驗箱半導(dǎo)體可靠性測試

一、核心用途

廣東快速溫變試驗箱半導(dǎo)體可靠性測試

二、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

溫域范圍 - 60℃~180℃，適配半導(dǎo)體全場景溫變需求；溫變速率 5~30℃/min 可調(diào)，從 - 60℃升至 150℃僅需 7 分鐘，滿足高頻沖擊測試（日均 30 次循環(huán)）；控溫精度達波動度 ±0.3℃、均勻性 ±0.5℃，避免溫度偏差影響芯片測試數(shù)據(jù)；電磁屏蔽效能≥40dB（10kHz~1GHz），防止干擾芯片高頻電信號采集；測試腔體兼容 8~12 英寸晶圓及 0201~QFP 封裝器件，支持 256 個測試工位并行作業(yè)。

采用 “雙層屏蔽 + 防結(jié)露" 設(shè)計：外層為鍍鋅鋼板 + 銅網(wǎng)電磁屏蔽結(jié)構(gòu)，內(nèi)層為特種耐候鋼腔體，搭配 120mm 厚高密度保溫層，阻斷溫場流失；內(nèi)置晶圓專用真空吸附工裝，定位精度 ±0.5μm，避免樣品移位；配備防霜三層鋼化玻璃觀察窗，-60℃低溫下透光率≥90%，可實時監(jiān)控芯片狀態(tài)；腔體預(yù)留 IEEE 488 總線接口，支持與探針臺、測試機聯(lián)動。

采用 PID + 模糊自適應(yīng)控制算法，結(jié)合無過沖加熱模塊（功率 0~3kW 可調(diào)），低溫段（≤-40℃）自動降低加熱功率，避免溫度過沖損傷芯片；搭載 16 點分布式溫度傳感器，實時采集腔體不同區(qū)域溫度，數(shù)據(jù)反饋延遲≤10ms，確保溫場均勻；支持自定義溫變曲線，可存儲 100 組半導(dǎo)體專用測試程序（如車規(guī)芯片 AEC-Q100 的 - 40℃~125℃循環(huán)）。

通過雙級壓縮制冷系統(tǒng)（R404A/R23 環(huán)保冷媒）實現(xiàn)低溫快速降溫，配合高頻加熱管完成高溫升溫，溫度傳感器實時將數(shù)據(jù)傳輸至控制系統(tǒng)；系統(tǒng)根據(jù)目標(biāo)溫變曲線，動態(tài)調(diào)節(jié)冷媒流量與加熱功率，實現(xiàn)無過沖溫變；同時，電磁屏蔽模塊阻斷外部干擾，工裝固定樣品并聯(lián)動測試設(shè)備，同步采集溫變數(shù)據(jù)與芯片電性能參數(shù)，形成 “溫變 - 測試 - 數(shù)據(jù)記錄" 閉環(huán)。